硅晶圆生产

研磨和抛光结合了超细磨料的化学（酸性或碱性）浆液与抛光产生的机械力，可对不平整的区域进行平整。通过严格控制浆液颗粒的尺寸，可实现理想的表面处理效果。

3M提供过滤解决方案，可控制抛光工艺中使用浆液的颗粒尺寸，使晶圆制造商满足相关行业标准。

在湿法加工中，使用溶液对晶圆进行浸染、浸渍或喷洒。随着设备功能不断缩减，确保生产工艺使用的酸、碱和溶剂纯度仍然至关重要。

对于大部分酸、碱、酒精和蚀刻剂，3M都能根据具体化学应用提供合适的过滤器。

工艺冷却水通过循环进入水冷设备。温度循环、夹杂空气、污染物和水质不良都会导致腐蚀、结垢和其他问题，可能抑制正常冷却和/或降低水冷设备的性能。通过适当的水处理工艺，可确保水冷设备在使用中发挥最佳性能。

3M可提供过滤和气体管理解决方案，以控制工艺冷却水回路中的污染物和气体杂质，从而提升运行效率和稳定性。

晶圆生产需要大量的水和化学品，必然会产生大量废水。不同的制造工艺会产生各种废水污染物。

3M可提供过滤解决方案，通过过滤废水来保护环境，同时满足日益严格的排放要求。

3M™ Liqui-Cel™膜接触器设计紧凑，可实现高效的溶解气体控制。这些气体输送装置可向兼容的液体流中添加气体，或去除溶解的气体和气泡，并采用中空纤维膜技术，有助于世界各地的相关设施提高运行效率、性能，同时确保产品质量。