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提高微电子设施中的溶解气体控制效率
提高微电子设施中的溶解气体控制效率

3M溶解气体控制解决方案。

咨询3M应用工程师

溶解气体控制

随着半导体加工、平板显示器生产和其他高科技行业的线宽更小、晶圆尺寸更大、显示技术更先进,溶解气体控制成为影响超纯水质量的关键考虑因素。

3M™ Liqui-Cel™ 膜接触器具有高效性、简单性和强大的气体去除性能,是半导体和平板显示器水处理系统中广泛使用的脱气技术。

与传统的真空塔不同,这些膜脱气系统的使用范围更广。随着水量要求的增长或溶解气体规格的降低,可在系统中增加额外的接触器以满足不断变化的需求。

对于超纯水和其他兼容的湿法工作台工艺流体中的溶解气体,3M Liqui-Cel膜接触器还能实现低浓度和精确控制。


3M Liqui-Cel膜接触器的工作原理

先进的溶解气体控制

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溶解气体控制应用

3M™ Liqui-Cel™ 膜接触器设计紧凑,可实现高效的溶解气体控制。这些气体输送装置可向兼容的液体流中添加气体,或去除溶解的气体和气泡,并采用中空纤维膜技术,有助于世界各地的相关设施提高运行效率、性能,同时确保产品质量。20多年来,这些装置在全球范围内取代了真空塔、强制通风除氧器和除氧剂。3M拥有经验丰富的技术支持和服务,可通过与您合作为溶解气体控制项目提供支持,从而确保解决方案满足要求和预期。

去除O₂和CO₂

3M™ Liqui-Cel™ 膜接触器可将水中的O₂浓度降至1 ppb以下,还可将溶解的CO₂浓度降至0.5 ppm。氧气溶解水平较低,有助于确保产品产量,同时CO₂含量低还有助于提高电去离子(EDI)和其他离子交换的效率。膜接触器结构紧凑,可在线操作,并且无需化学品。

20多年来,3M Liqui-Cel在全球范围内取代了真空塔、强制通风除氧器和除氧剂。3M拥有深入的技术支持和服务,可通过与您合作为溶解气体控制项目提供支持,从而确保解决方案满足要求和预期。


特色产品

  • 3M™ Liqui-Cel™ EXF系列膜接触器
    3M™ Liqui-Cel™ EXF系列膜接触器

电镀电解液

电镀解决方案需要严格的颗粒和溶解气体控制,以防止沉积金属层出现缺陷和杂质。3M可提供颗粒和溶解气体解决方案,以满足您的电镀工艺需求。


特色产品

废氨处理

3M Liqui-Cel膜接触器适用于各种气体输送应用,可从水基流体中剥离溶解气体。例如,从含氨量高的进水中剥离氨气,并通过活性酸溶液直接吸收。

该装置可同时去除和回收氨。这种工艺称为TMCS(跨膜化学吸附)。3M Liqui-Cel膜接触器适用于各种气体输送应用,可从水基流体中剥离溶解气体。在跨膜化学吸附(TMCS)工艺中,氨气从含有高浓度氨的废水流中剥离出来,扩散穿过中空纤维膜壁,并由活性酸溶液直接吸收。因此可通过相同装置同时去除和回收氨。


特色产品

  • 适用跨膜化学吸附 (TMCS) 工艺的3M™ Liqui-Cel™ EXF系列膜接触器
    适用跨膜化学吸附 (TMCS) 工艺的3M™ Liqui-Cel™ EXF系列膜接触器

功能水

3M™ Liqui-Cel™ 膜接触器最常见的应用是将超纯水中的溶解气体(如氧气)浓度降至极低水平。3M Liqui-Cel膜接触器中的微孔膜还能有效地将纯净气体和特定混合气体加回超纯水。超纯水有时称为“功能水”,可精确加入少量气体(如CO₂、NH₃、N₂ 和H₂),以调整电导率水平或提高各生产步骤中超纯水的清洁效率。

3M Liqui-Cel膜接触器可实现自动化、精确的气体添加控制,同时避免形成气泡,几乎不产生废料。


特色产品

  • 3M™ Liqui-Cel™ EXF系列膜接触器
    3M™ Liqui-Cel™ EXF系列膜接触器


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