3M™ Trizact™ 研磨垫 HT-800-PC

  • 3M ID B5005067114

对碳化硅和陶瓷等超硬基材进行有效研磨和抛光

与铜盘工艺相比,和3M™Trizact™复合研磨液一起使用,提高了研磨垫的总寿命,改善了平整度(TTV),去除率高,表面光洁度更好,这是粗研磨步骤的一个不错的选择

替代铜盘工艺,不需要重新对铜盘进行沟槽处理,抛光废料中不含铜

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产品亮点
  • 对碳化硅和陶瓷等超硬基材进行有效研磨和抛光
  • 与铜盘工艺相比,和3M™Trizact™复合研磨液一起使用,提高了研磨垫的总寿命,改善了平整度(TTV),去除率高,表面光洁度更好,这是粗研磨步骤的一个不错的选择
  • 替代铜盘工艺,不需要重新对铜盘进行沟槽处理,抛光废料中不含铜
  • 研磨垫高度为800微米,研磨垫寿命更长
  • 去除率高,是粗研磨步骤的良好选择
  • 表面光洁度好
  • 平整度好
  • 可以直接安装在平面/光滑的研磨盘上
  • 容易更换的研磨垫

3M™Trizact™研磨垫HT-800-PC是一种用于抛光超硬基材,如碳化硅和蓝宝石的微复制复合研磨垫。

Trizact研磨垫HT-800-PC由压敏胶层和聚碳酸酯芯的微复制表面组成,当与3M™Trizact™复合研磨液结合使用时,可产生良好的表面光洁度,去除率高,是一种经济的抛光解决方案。这种研磨垫可以贴附在典型的单面或双面研磨平台上,是粗研磨步骤的优良选择。

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品牌 Trizact™
基材 氮化硅, 氮化镓, 砷化镓, 硅铝, 碳化硅, 蓝宝石, 钽酸锂
应用 划痕修复, 抛光, 研磨, 精加工
应用场合 半导体晶圆, 超硬基材
研磨矿砂类型 非磨蚀性
粒度 粗糙

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