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对碳化硅和陶瓷等超硬基材进行有效研磨和抛光
与铜盘工艺相比,和3M™Trizact™复合研磨液一起使用,提高了研磨垫的总寿命,改善了平整度(TTV),去除率高,表面光洁度更好,这是粗研磨步骤的一个不错的选择
替代铜盘工艺,不需要重新对铜盘进行沟槽处理,抛光废料中不含铜
3M™Trizact™研磨垫HT-800-PC是一种用于抛光超硬基材,如碳化硅和蓝宝石的微复制复合研磨垫。
Trizact研磨垫HT-800-PC由压敏胶层和聚碳酸酯芯的微复制表面组成,当与3M™Trizact™复合研磨液结合使用时,可产生良好的表面光洁度,去除率高,是一种经济的抛光解决方案。这种研磨垫可以贴附在典型的单面或双面研磨平台上,是粗研磨步骤的优良选择。
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