3M™ Trizact™ 研磨垫 HT-250
- 3M ID B5005036184
详细信息
产品亮点
- 对碳化硅和陶瓷等超硬基材进行有效研磨和抛光
- 与铜盘工艺相比，和3M™Trizact™复合研磨液一起使用，平整度(TTV)改善，去除率提高，表面光洁度更好，这是粗研磨步骤的一个不错选择
- 替代铜盘工艺，不需要重新对铜盘进行沟槽处理，抛光废料中不含铜
- 研磨垫寿命长
- 良好的平整度TTV
- 高去除率
- 表面光洁度好
- 粗研磨步骤的良好选择
- 容易更换的研磨垫
- 可以直接安装在平面/光滑的研磨盘上
3M™Trizact™研磨垫HT-250是一种用于研磨硅晶圆的微复制研磨垫，用于抛光超硬衬底，如蓝宝石，碳化硅和陶瓷。
用于粗研磨工艺步骤，Trizact研磨垫HT-250与3M™Trizact™复合研磨液结合使用。可贴附在单面或双面研磨盘上。
规格
相关资源
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| 基材 | 砷化镓, 氮化镓, 钽酸锂, 蓝宝石, 硅铝, 碳化硅, 氮化硅 | ||
| 应用 | 精加工, 划痕修复, 抛光, 研磨 | ||
| 应用场合 | 超硬基材, 半导体晶圆 |
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