高度工程化定制化的钻石研磨盘,利用烧结工艺,提供极其稳定均匀的钻石排布、锐利度及高度,专为半导体高阶CMP应用提供解决方案。
CMP工艺 | W (bulk), Cu (bulk) |
产品类型 | 钻石研磨盘 |
产品系列 | R400 |
基底材质 | 316 不锈钢 |
基底样式 | 条状 |
工厂ISO认证 | No ISO Certification information available |
应用 | CMP, 晶圆制造 |
研磨矿砂类型 | 镍基合金上烧结图形化钻石 |
磨料工作面 | 整面型 |
载体长度 (公制) | 295.402 毫米 |
钻石直径 | 251 μm |
产品技术文件
(PDF, 60KB)