3M™ 钻石垫修整器环

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  • 有效降低停机维护次数,为降低购置成本带来更大的可能性。
  • 优化处理,以延长研磨垫及研磨盘的使用寿命。
  • 化学及机械双重力量牢固绑定钻石,提供坚固稳定的钻石耐受力
  • 提供坚固稳定的钻石耐受力。
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  • 有效降低停机维护次数,为降低购置成本带来更大的可能性。
  • 优化处理,以延长研磨垫及研磨盘的使用寿命。
  • 化学及机械双重力量牢固绑定钻石,提供坚固稳定的钻石耐受力
  • 提供坚固稳定的钻石耐受力。

高度工程化定制化的钻石研磨盘,利用烧结工艺,提供极其稳定均匀的钻石排布、锐利度及高度,专为半导体高阶CMP应用提供解决方案。

规格
品牌
3M™
基底材质
304 不锈钢
基底样式
环状
应用
CMP
底座直径 (公制)
260 mm, 360 mm
生产地点
美国
研磨矿砂类型
镍基合金上烧结图形化金刚石
磨料工作面
分割型F443