3M持续探索并为众多产业提供创新的解决方案,帮助解决世界各地的问题。
用于半导体制造化学机械平坦化CMP工艺中,抛光垫与载盘的贴合固定
橡胶型胶粘剂可提供快速, 可靠的粘接强度,并可洁净移除
胶粘剂涂布于薄膜基材的双面,可实现与抛光垫的有效层压贴合,并可从载盘上洁净移除
3M聚酯双面胶带442KW采用橡胶型胶粘剂,适用于半导体CMP抛光垫的层压贴合,并可从抛光盘上实现洁净移除。薄型聚酯(PET)薄膜基材有助于胶粘剂与抛光盘及抛光垫实现牢固粘接。聚乙烯覆膜的离型纸具有优异的尺寸稳定性。
3M™ 聚酯双面胶带 442KW 采用 3M™Adhesive 830 橡胶型胶粘剂系统,兼具良好的粘接力、耐温性和耐溶剂性,可对多种材料实现快速初粘。本款双面胶带非常适用于半导体 CMP 应用,可轻松贴合于抛光垫,并可从多种表面实现洁净移除,特别适合用于半导体载盘。