3M™ Trizact™ 复合研磨液 DE-100
- 3M ID B5005276003
详细信息
产品亮点
- 对碳化硅和陶瓷等超硬基材进行有效研磨和抛光
- 与铜盘工艺相比，使用3M™Trizact™研磨垫，总厚度变化(TTV)更小，去除率更高，表面光洁度更好
- 去除率高，表面光洁度好，是精细研磨/pre-CMP步骤的良好选择
- 容易用水清洗
- 与3M™Trizact™研磨垫兼容
- 兼容单面和双面研磨设备
3M™Trizact™复合研磨液DE-100是一种低粘度研磨浆料，用于精加工超硬基材，如碳化硅。当与3M™Trizact™研磨垫一起使用时，这种浆液提供了最高的性能。
Trizact复合研磨液DE-100由一种独特的纳米级金刚石复合材料组成，具有优异的表面光洁度和良好的去除率，适用于精细研磨和化学机械抛光(CMP)之前的工艺步骤。它与水混溶，易于清洁。
规格
相关资源
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| 基材 | 碳化硅, 砷化镓, 氮化镓, 钽酸锂, 蓝宝石, 氮化硅, 硅铝 | ||
| 应用 | 划痕修复, 抛光, 精加工, 研磨, 预-CMP | ||
| 应用场合 | 超硬基材, 半导体晶圆 |
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