3M™ Trizact™ 复合研磨液 DT-100

3M™Trizact™研磨液DT-100是一种低粘度研磨料浆，用于抛光蓝宝石和碳化硅等超硬基材。当与3M™Trizact™研磨垫一起使用时，这种CMP浆料可提供最高性能。

Trizact复合研磨液DT-100由独特的三乙二醇金刚石复合材料组成，具有良好的表面光洁度和高去除率，可实现经济研磨。这种浆料有1.5微米和3微米两种尺寸，以满足一系列研磨和抛光需求。它是为该工艺的粗研磨步骤设计的。产品中的三甘醇与水混溶，易于清洗。