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3M™ Trizact™ Pad Conditioner TPC 研磨盘

产品
  • 利用3D技术做成精确的陶瓷衬底,其中用CVD技术涂敷一层类钻石层
  • 精确控制的微复制结构
  • 每一颗研磨盘间产品良好的一致性,以及无金属化的切屑表面
  • 对有金属污染顾虑的高阶制程的应用,是种理想选择
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详细信息
  • 利用3D技术做成精确的陶瓷衬底,其中用CVD技术涂敷一层类钻石层
  • 精确控制的微复制结构
  • 每一颗研磨盘间产品良好的一致性,以及无金属化的切屑表面
  • 对有金属污染顾虑的高阶制程的应用,是种理想选择

利用3M在研磨、陶瓷、微复制等专业技术,3M™ Trizact™ (研磨垫)修整器是专为高阶CMP工艺开发的一种创新研磨垫修整器

规格
产品类型
金刚石研磨盘
品牌
Trizact™
基底材质
不锈钢
基底样式
砂碟
应用
CMP
底座直径 (公制)
107.95 mm
研磨矿砂类型
CVD 涂层陶瓷
磨料工作面
B5 - M990样式, B6 - 1900样式, B75 - 2990样式