3M™ Trizact™ 研磨盘

产品
  • 利用3D技术做成精确的陶瓷衬底,其中用CVD技术涂敷一层类钻石层
  • 精确控制的微复制结构
  • 每一颗研磨盘间产品良好的一致性,以及无金属化的切屑表面
  • 对有金属污染顾虑的高阶制程的应用,是种理想选择
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  • 利用3D技术做成精确的陶瓷衬底,其中用CVD技术涂敷一层类钻石层
  • 精确控制的微复制结构
  • 每一颗研磨盘间产品良好的一致性,以及无金属化的切屑表面
  • 对有金属污染顾虑的高阶制程的应用,是种理想选择

利用3M在研磨、陶瓷、微复制等专业技术,3M™ Trizact™ (研磨垫)修整器是专为高阶CMP工艺开发的一种创新研磨垫修整器