3M™ Trizact™ 复合研磨液 DT-50

  • 3M ID B40055134

对碳化硅和陶瓷等超硬基材进行有效研磨和抛光

与铜盘工艺相比,使用3M™Trizact™研磨垫,改善了平整度(TTV),去除率和表面光洁度

去除率高,是粗研磨的良好选择

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详细信息

产品亮点
  • 对碳化硅和陶瓷等超硬基材进行有效研磨和抛光
  • 与铜盘工艺相比,使用3M™Trizact™研磨垫,改善了平整度(TTV),去除率和表面光洁度
  • 去除率高,是粗研磨的良好选择
  • 表面光洁度好,去除率高
  • 容易用水清洗
  • 与3M™Trizact™研磨垫兼容
  • 能与单面或双面研磨设备一起使用
  • 粗研磨步骤的良好选择

3M™Trizact™复合研磨液DT-50是一种低粘度研磨料浆,用于抛光蓝宝石和碳化硅等超硬基材。与3M™Trizact™研磨垫一起使用时,Trizact复合研磨液DT-50可提供最高性能。

Trizact复合研磨液DT-50由独特的3微米金刚石三甘醇复合材料组成,具有良好的表面光洁度和高去除率,可实现经济研磨。本产品中的三甘醇与水混溶,易于清洗。

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基材 砷化镓, 氮化镓, 钽酸锂, 蓝宝石, 硅铝, 碳化硅, 氮化硅
应用 抛光, 精加工, 划痕修复, 研磨
应用场合 半导体晶圆, 超硬基材

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