3M™ Trizact™ CMP研磨垫

• 凭借三维微复制精确设计的粗糙度和孔隙，有助于确保凹凸点直径和高度、以及孔隙深度一致。
• 创新的凹痕设计，有助于高效均匀的浆液流动分布。
• 微复制受控，有助于确保垫与垫之间性能的一致性，以满足高节点CMP工艺的要求。
• 可满足高节点CMP工艺的要求。

3M™ Trizact™ CMP研磨垫采用微复制技术，凭借精确控制粗糙度以实现低缺陷率，使垫子在使用期间内，性能保持一致。