3M™ Betapure™ PPK系列 聚丙烯无纺布深度过滤器滤芯和囊式过滤器

3M™ Betapure™ PPK系列滤芯和囊式过滤器是一款具有高纳污容量的深度过滤器，适用于化学机械平坦化（CMP）工艺中所使用的氧化层研磨液与金属层研磨液。3M™ Betapure™ PPK系列过滤器由全聚丙烯材质制成，采用多区域设计，可达到优异的颗粒分级水平。这种结构有助于增强流动特性，降低压降，从而尽可能减少对研磨液的剪切作用，并确保产品具备出色的耐用性。

研磨液过滤器的目的是让大部分颗粒不改变的通过，而只去除不需要的或“过大”的颗粒。过大颗粒群通常被称为大颗粒计数（LPC），这些颗粒通常是由研磨液中的悬浮颗粒逐渐干燥而形成的聚合体、结块和凝胶。大颗粒也可能是由于不利的运输条件、剪切作用、研磨液干燥以及与配件、Day Tank、管道、阀门和泵等其他分配系统回路组件的相互作用造成的。这些大颗粒可能会刮伤金属和层间介电层，导致晶圆缺陷。3M™ Betapure™ PPK过滤器可减少大尺寸颗粒，提高产量，同时保持研磨液的抛光特性。