3M™ 光热转换 LTHC 涂层

3M ID JS500000125
  • 应用独特的接合和剥离技术,在极端的晶圆薄化、微影、蚀刻、薄膜沉积、电镀…等制程中,完全的保护晶圆正面的整体性
  • 用激光解键合时可以使玻璃和晶圆正面在常温下无应力的轻松分离
  • 与常用半导体试剂均兼容
  • 无残留剥离
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  • 应用独特的接合和剥离技术,在极端的晶圆薄化、微影、蚀刻、薄膜沉积、电镀…等制程中,完全的保护晶圆正面的整体性
  • 用激光解键合时可以使玻璃和晶圆正面在常温下无应力的轻松分离
  • 与常用半导体试剂均兼容
  • 无残留剥离

3M™ 光热转换LTHC涂层为溶剂型、旋涂式油墨涂层。为WSS晶圆临时键合和解键合方案专用的玻璃释放涂层。

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产品安全数据表
规格
产品类型
光 - 热
净重 (公制)
18 kg
品牌
3M™
聚合物类型
热塑性树脂