3M™ 光热转换 LTHC 涂层

3M ID JS500000125
  • 应用独特的接合和剥离技术,在极端的晶圆薄化、微影、蚀刻、薄膜沉积、电镀…等制程中,完全的保护晶圆正面的整体性
  • 用激光解键合时可以使玻璃和晶圆正面在常温下无应力的轻松分离
  • 与常用半导体试剂均兼容
  • 无残留剥离
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  • 应用独特的接合和剥离技术,在极端的晶圆薄化、微影、蚀刻、薄膜沉积、电镀…等制程中,完全的保护晶圆正面的整体性
  • 用激光解键合时可以使玻璃和晶圆正面在常温下无应力的轻松分离
  • 与常用半导体试剂均兼容
  • 无残留剥离
  • 作为3M™ WSS晶圆支撑系统的一部分来使用

3M™ 光热转换LTHC涂层为溶剂型、旋涂式油墨涂层。为WSS晶圆临时键合和解键合方案专用的玻璃释放涂层。

光热转换在临时键合与解键合中的释放

  • 临时键合与解键合过程图片
  • A. 半导体晶圆
    B. 3M™UV固化胶LC-3200
    C. 3M™光热转换涂层(LTHC)
    D. 玻璃载体

    3M™光热转换涂层(LTHC)可提高半导体晶圆加工效率。它在玻璃载体和粘合剂之间形成一层涂层,在激光照射时将光转化为热,有助于降低脱胶所需的激光强度。这种转换还可以在室温下以非常低的清洁胶粘剂释放,保持玻璃载体的完整性,以便重复使用和回收。

规格
净重 (公制)
18 kg
品牌
3M™
聚合物类型
热塑性树脂
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