- 利用3D技术做成精确的陶瓷衬底，其中用CVD技术涂敷一层类钻石层
- 精确控制的微复制结构
- 每一颗研磨盘间产品良好的一致性，以及无金属化的切屑表面
- 对有金属污染顾虑的高阶制程的应用，是种理想选择
详细信息
- 利用3D技术做成精确的陶瓷衬底，其中用CVD技术涂敷一层类钻石层
- 精确控制的微复制结构
- 每一颗研磨盘间产品良好的一致性，以及无金属化的切屑表面
- 对有金属污染顾虑的高阶制程的应用，是种理想选择
利用3M在研磨、陶瓷、微复制等专业技术，3M™ Trizact™ （研磨垫）修整器是专为高阶CMP工艺开发的一种创新研磨垫修整器
规格
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产品类型
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金刚石研磨盘
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品牌
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Trizact™
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基底材质
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不锈钢
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基底样式
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砂碟
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应用
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CMP
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底座直径 (公制)
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107.95 mm
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研磨矿砂类型
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CVD 涂层陶瓷
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磨料工作面
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B5 - M990样式
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沪公网安备31010502004501号 （沪）-非经营性-2019-0035.
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