详细信息
- 耐磨的刚性毛刷可协助去除多孔的微复制研磨垫上的残留物。
- 易于连接到抛光工具末端
- 独特的聚合物基材增强了耐腐蚀性
- 超长使用寿命
- 3M™研磨刷易于连接到抛光工具末端
高度工程化定制化的研磨刷，专为修整CMP研磨垫设计
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CMP研磨盘的好帮手
坚固耐用的刷毛独立固定并均匀分布在3M研磨刷表面,令3M研磨刷适合去除柔软的微复制、多孔和毡基CMP研磨盘上的碎片。刷毛由一种独特的聚合物制成,相比于金属更耐腐蚀。聚碳酸酯载体方便安装,便于连接到各种抛光工具和感受器。
相关资源
规格
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产品类型
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刷子
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品牌
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3M™
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基底材质
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聚碳酸酯
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基底样式
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砂碟
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应用
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高级节点（内存和逻辑）, CMP, 垫清洁, 晶圆制造
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底座直径 (公制)
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107.95 mm
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生产地点
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美国
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研磨矿砂类型
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尼龙纤维
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磨料工作面
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整面型
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