3M™ 柔性研磨盘是为应对修整CMP研磨垫的特殊挑战而推出的突破性解决方案。3M将钻石研磨盘的对研磨垫的初期快速磨合和强大的修整性能与刷子优异的缺陷表现相结合,推出此解决方案。该柔性研磨盘由耐用的一体式聚合物构成,突破了传统钻石研磨盘修整局限,有助于实现新的定制化和性能表现,其特点包含可调节设计、使用寿命长和有助于降低潜在缺陷的能力。
除了强大的研磨垫修整能力外,3M™柔性研磨盘在研磨垫清洁应用中也非常有效。由于其精准控制的刷毛和间距,与传统刷子相比,它有助于清理包括氧化铈、阳离子二氧化硅等其他难以清洁的浆料,减少残留浆料和碎屑的滞留。刷毛材料也比传统产品更容易用水清洗,坚固的一体化聚合物几乎将刷毛脱落降至零。
高分辨率图像分析显示几乎所有的刷毛尖(红色显示)都会接触研磨垫表面,从而有助于整个研磨盘使用寿命期间实现非常一致的修整性能。此外,严格控制的制造过程有助于将研磨盘间工作刷毛尖的差异大幅降低。