3M™ 柔性研磨盘

  • 3M ID B5005541000

长寿命、低缺陷CMP研磨垫修整和清洁

可调节的刷毛,设计和材料可根据您的研磨垫硬度和结构进行定制

在研磨垫使用寿命内保持稳定的去除率和性能

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详细信息

产品亮点
  • 长寿命、低缺陷CMP研磨垫修整和清洁
  • 可调节的刷毛,设计和材料可根据您的研磨垫硬度和结构进行定制
  • 在研磨垫使用寿命内保持稳定的去除率和性能
  • 一体化结构确保研磨盘与研磨盘之间形状高度一致,几乎无刷毛脱落
  • 非金属切割表面有助于降低金属污染风险
  • 高效的CMP研磨垫清洁和浆料输送
  • 平均碎屑尺寸比钻石研磨盘小5-10倍,有助于改善缺陷表现
  • 在多孔和低模量CMP研磨垫以及传统研磨垫上效果显著
  • 兼容3M™ CMP研磨垫和3M™ CMP研磨盘涂层

3M™ 柔性研磨盘是为应对修整CMP研磨垫的特殊挑战而推出的突破性解决方案。3M将钻石研磨盘的对研磨垫的初期快速磨合和强大的修整性能与刷子优异的缺陷表现相结合,推出此解决方案。该柔性研磨盘由耐用的一体式聚合物构成,突破了传统钻石研磨盘修整局限,有助于实现新的定制化和性能表现,其特点包含可调节设计、使用寿命长和有助于降低潜在缺陷的能力。

  • 轻松清洁研磨垫

    除了强大的研磨垫修整能力外,3M™柔性研磨盘在研磨垫清洁应用中也非常有效。由于其精准控制的刷毛和间距,与传统刷子相比,它有助于清理包括氧化铈、阳离子二氧化硅等其他难以清洁的浆料,减少残留浆料和碎屑的滞留。刷毛材料也比传统产品更容易用水清洗,坚固的一体化聚合物几乎将刷毛脱落降至零。

  • Extreme close-up of the precise bristle placement on the 3M Flexible Pad Conditioner.
  • 受控且一致的工作刷毛尖数量

    高分辨率图像分析显示几乎所有的刷毛尖(红色显示)都会接触研磨垫表面,从而有助于整个研磨盘使用寿命期间实现非常一致的修整性能。此外,严格控制的制造过程有助于将研磨盘间工作刷毛尖的差异大幅降低。

  • High-resolution image analysis showing where the pad conditioner makes contact with the pad surface.

规格

相关资源

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产品类型 钻石研磨盘
应用 CMP, 高级节点(存储和逻辑), 晶圆制造
研磨矿砂类型 尼龙纤维