3M™ Betapure™ AUL系列滤芯和滤囊

3M™ Betapure™ AUL系列滤芯和滤囊代表新一代化学机械平坦化（CMP）浆料分级过滤技术，能够大幅降低大颗粒计数，提升良率 。凭借3M双组分纤维技术以及针对性多区域过滤层技术，能够在最先进的CMP制程中降低大颗粒计数（LPC）以及提升良率。

产品采用刚性结构可以保持孔隙尺寸稳定，即使在间歇的工艺条件下也是如此。如果不可避免的发生一些诸如泵的压力波动，系统的启停或者高压差等变化，可以保证对产品一致性产生最小的影响。 多区构造，能够降低大颗粒计数的同时优化流体流动特性，包括极低的压差，最小化slurry剪切，同时具有超长的使用寿命。